迅达真空泵丨扩散真空泵自动测试系统的测试原理

该套测试系统对迅达真空泵厂扩散泵的极限压力和不同入口压力下的抽速曲线的测试原理与方法，完全参照相关国家标准的规定执行。其中扩散泵抽速曲线的自动检测，采用“定压法”原理测试。对应每一个测压点的测试步骤是：在工作阀开启的条件下，利用针阀调节充入测试罩的气体流量Q，使测试罩内的平衡压力p 稳定在预期的压力值附近；关闭工作阀，依次记录滴管内液柱到达液位高度h1 和h2 的时间t1 和t2；通过计算液柱净升高度h=h2- h1 和上升所需时间t=(t2- t1)，迅达真空泵利用下式求得对应压力下的体积流率，即抽速。

式中S———被测真空泵抽气速率，L/s
　　Q———流过广东真空泵口的气体流量，Pa·L/s
　　p———测试罩内规定 位置的平衡压力，Pa
　　h———滴管内液柱上升净高度，mm
　　t———滴管内液柱上升所需时间，s
　　K———滴管函数，Pa·L/mm。
迅达真空泵厂根据上述公式可知：要想计算出抽速S，需要已知对应测压点的K、h、p 和t。其中，滴管函数K可以根据不同的滴管和连接管道尺寸，结合实际的测试工况事先计算出来；因此，实际需要读取的只有测试罩指定 位置平衡压力p、滴管内液柱净升高度h 和液柱净升高度h 所需时间t 三个量。该套测试系统所具有的自动测试功能，主要是指工作阀采用电磁阀自动开启关闭；针阀完成流量调节的过程采用步进电机驱动，并根据罩内实测压力与预设压力的对比进行反馈控制；利用光电液位开关测定滴管内液位到达设定 位置h1和h2 高度处的时间t1 和t2。整个测试过程，以及之后的抽速计算、结果输出工作，均由计算机自动控制完成，只是在更换滴管和连接管路的过程中需要操作人员手工作业。
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